微流控芯片、MEMS 精密加工供气解决方案

微流控芯片、MEMS 精密加工供气解决方案

一、项目基础信息

客户单位：苏州含光微纳科技有限公司

应用场景：微流控芯片、MEMS 精密加工实验室集中供气

配套设备清单

气源前置：Flairmo A200.25AS 一体式静音无油空压机（支持 - 70℃超低压力露点干燥配置）

后端制氮主机：Flairmo N2G 氮气发生器

辅助配套：立式储气稳压罐，稳定管路供气压力

客户核心业务背景

企业主营微流控生物芯片、MEMS 微纳器件精密研发与代工，千级洁净实验室对压缩空气、氮气气源的无油、低露点、高洁净度要求严苛，气源杂质、水汽会直接造成微结构芯片加工瑕疵、芯片键合失效，影响检测芯片精度与良率。

二、客户原有痛点

气源洁净度不达标

普通空压机存在润滑油挥发、管路油污残留，微流控微米级流道极易被油污堵塞，破坏芯片微结构；

干燥度不足

常规气源露点仅 - 40℃，水汽进入洁净车间会导致芯片、模具受潮，键合工序出现分层、气泡缺陷；

供气压力波动

单独小型空压机无稳压缓冲，制氮设备进气压力不稳，氮气纯度持续波动，无法满足微纳加工恒定工艺标准；

实验室环境限制

研发洁净...

N2G 15C氮气发生器

Flairmo A200.25AS 空压机 + N2G 15C 氮气发生器 苏州含光微纳实验室供气应用案例

一、项目基础信息

客户单位：苏州含光微纳科技有限公司

应用场景：微流控生物芯片、MEMS 微纳器件研发与精密加工实验室集中供气

成套设备配置

前置气源：Flairmo A200.25AS 一体式静音无油空压机（选配 - 70℃深度干燥模块，标配 AC 活性炭过滤器除油）

制氮主机：Flairmo N2G 15C 氮气发生器

辅助配套：立式储气稳压罐，缓冲气流、稳定管路输出压力

客户业务背景

公司主营微流控芯片、IVD 诊断耗材、MEMS 器件定制研发与量产加工，实验室为千级洁净环境；微米级芯片流道、低温键合、芯片封装工序，对压缩空气、氮气气源的无油、超低露点、纯度稳定性有着高标准，油污、水汽、压力波动会直接造成芯片报废、检测数据失真。

二、客户原有供气痛点

气源含油污染风险

普通有油空压机润滑油挥发，管路残留油污会堵塞微流控微小通道，破坏芯片精密微结构，导致成品良率下降；

干燥度无法满足工艺要求

常规设备压力露点仅 - 40℃，水汽进入洁净车间会造成模具、芯片基材受潮，键合工艺出现分层、气泡缺陷；

进气压力波动，氮气纯度不稳定

小型简易空压机无稳压缓冲，制氮机进气压力持续波动，氮气纯度忽高忽低，不匹配 MEMS 蚀刻、芯片封装的恒定工艺标准；

设备分散，运维繁琐

分体式空压机、干燥机、过滤器占用大量实验室空间，人工定期排水、更换滤芯增加实验室运维工作量。

三、Flairmo 成套气源解决方案优势

1. A200.25AS 空压机（气源前端保障）

超深度干燥：可选配模块实现 **-70℃压力露点 **，消除水汽，杜绝芯片受潮缺陷；

全链路除油：无油活塞主机 + AC 活性炭过滤器双重除油，输出零油压缩空气，适配洁净实验室标准；

一体式集成设计：内置 25L 储气罐、吸干系统、三级精密过滤，底部带移动脚轮，占地面积小，适配实验室紧凑布局；

低运维设计：冷凝水蒸发系统，无需外接排水管道；智能屏幕自动记录运行数据、维保提醒；56dB 低静音运行，不干扰实验室操作；

稳定供气流量 200L/min，100% 连续运行，持续为 N2G 15C 提供稳定进气。

2. N2G 15C 氮气发生器（工艺终端供气）

依托前端 A200.25AS 产出的超洁净干燥压缩空气，产出高纯氮气：

稳定氮气产出流量 15L/min，纯度恒定，满足微流控芯片吹干、MEMS 器件保护、封装惰性保护需求；

配套自动稳压、纯度监控模块，进气压力波动耐受范围宽，搭配储气罐后输出压力无波动；

不锈钢整机外壳，耐腐蚀易清洁，适配千级洁净室无尘使用环境；

模块化滤芯结构，更换简单，维护周期长，适配企业量产实验室长期不间断使用。

3. 整套系统配套储气罐作用

缓冲空压机气流脉冲，消除压力波动，保障氮气发生器进气压力恒定，氮气纯度持续稳定，避免工艺中途参数偏移。

四、现场实拍设备说明

实拍图成套设备布局：前景白色柜体为 Flairmo A200.25AS 静音无油空压机；后方不锈钢箱体为 N2G 15C 氮气发生器；左侧立式罐体为稳压储气罐，构成完整 “空压机→储气缓冲→氮气发生器" 洁净供气链路。

五、项目落地使用效果

气源指标全面达标

压缩空气露点稳定 - 70℃、无油气残留，N2G 15C 输出氮气纯度恒定，匹配微流控芯片、MEMS 加工严苛工艺规范；

芯片生产良率提升

解决油污堵塞流道、水汽键合分层等缺陷，芯片报废率显著降低；

实验室使用优化

一体式机型占地面积小、运行噪音低，全自动冷凝水处理大幅减少人工维护工时；整套系统 7×24 小时连续稳定运行，适配企业研发 + 小批量试制不间断生产需求；

标准化可复制方案

该套 Flairmo 空压机 + N2G 制氮机成套气源方案，可直接复用至半导体、生物芯片、精密分析仪器各类实验室供气项目。

六、方案总结

针对微流控、MEMS 精密加工洁净实验室场景，Flairmo A200.25AS 超低温露点空压机搭配 N2G 15C 氮气发生器，从气源前端深度除油干燥到终端高纯制氮形成闭环洁净供气系统，解决苏州含光微纳气源污染、湿度超标、压力不稳等核心痛点，是生物芯片、微纳制造实验室标准化供气解决方案。