浙江大学杭州国际科创中心 ALD原子层沉积 项目案例分享（带现场实拍）

一、项目背景

• 核心用气需求：氮气作为工艺吹扫气、前驱体载气，同时为螺杆真空泵提供气封保护气，要求70 L/min 流量、99.5% 纯度。

• 传统痛点：高压钢瓶供气存在断供风险、纯度波动、频繁换瓶、安全隐患大，无法匹配长时间连续实验需求。

二、现场配置实拍与方案说明

1. 当前供气系统（双机组合方案）

• 总产气量：75 L/min（满足 70 L/min 实际需求，富余充足）

• 氮气纯度：稳定 99.5%

• 系统连接：发生器输出氮气，一路进入 ALD 反应腔作为吹扫 / 载气，另一路接入螺杆真空泵作为气封保护气，全程无间断供气。

• 优势：双机互为备份，运行更稳定，避免单台故障导致实验中断。

2. 配套真空与温控系统

• 氮气发生器配合螺杆真空泵，构建稳定的真空环境，同时保护泵体不受腐蚀性前驱体损伤。

• 冷水机为 ALD 设备与真空泵提供冷却，保障长时间连续运行的温度稳定性。

3. 未来升级方案

• 额定产气量：80 L/min，单机即可满足全部用气需求

• 优势：简化管路布局、减少设备占地，运维更便捷，适配实验室后续扩容需求。

三、核心价值与项目成果

1. 供气稳定性保障

   双机并联系统输出的氮气流量、纯度全程稳定，有效避免了钢瓶供气的波动问题，为 ALD 薄膜沉积提供了可靠气源。

2. 科研效率大幅提升

   无需人工更换钢瓶，科研人员可专注于实验设计与数据分析，7×24 小时不间断供气，匹配长时间循环实验需求。

3. 安全与成本优化

   消除高压钢瓶安全隐患，同时免去钢瓶采购、运输、租赁费用，长期运营成本显著降低。

四、项目总结